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激光共聚焦輪廓顯微鏡
  • 發(fā)布日期:2019-03-12      瀏覽次數(shù):1140
    • 產(chǎn)品特點(diǎn):

      激光共聚焦輪廓顯微鏡S neox的突出特點(diǎn):
      一款的3D光學(xué)測(cè)量?jī)x
      S neox整合了微型三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)所有的功能。

      LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì),使表面測(cè)量的范圍幾乎不受限制。
      高分辨,高可重復(fù)性和可溯源
      即使對(duì)于復(fù)雜樣品表面,仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率
      高測(cè)量速度
      S neox的測(cè)量速度可以達(dá)到170萬點(diǎn)/秒。
      模塊化和可擴(kuò)展性
      新的功能可以很容易通過擴(kuò)展測(cè)量模式整合
      全自動(dòng)
      測(cè)量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高,如自動(dòng)更換物鏡等

      激光共聚焦輪廓顯微鏡S neox的主要技術(shù)參數(shù):
      位移范圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm
      樣品表面結(jié)構(gòu):表面形貌Ra>9nm,Lc=2µm,取決于表面結(jié)構(gòu)
      樣品高度:100mm ~ 345mm
      樣品重量:30kg。
      水平分辨率:0.44µm
      垂直分辨率:10nm
      掃描高度:22.5mm
      擴(kuò)展視野范圍:10000mm2
      單一方向掃描范圍:100mm
      測(cè)量速度:170萬個(gè)測(cè)量點(diǎn)/秒
      小測(cè)量高度:0.01µm
      測(cè)量高度:22.5mm
      測(cè)量范圍:10000mm2
      測(cè)量形貌長(zhǎng)度:100mm
      小可重復(fù)性:0.001µm
      小測(cè)量粗糙度(Ra):0.03µm
      小測(cè)量粗糙度(Sa):0.015µm
      小測(cè)量半徑:1µm
      小測(cè)量垂直角度:20°
      大測(cè)量?jī)A斜角度:87°

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