產(chǎn)品簡介：
測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內(nèi)建偏光測量光學模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
測量分析顯微鏡技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
型號 | PZ-3020MA | ||||
工作臺 | 金屬臺尺寸(mm) | 500 x 330 | |||
玻璃臺尺寸(mm) | 350 x 250 | ||||
X、Y軸運動行程(mm) | 300 x 200 | ||||
手動Z軸行程(mm) | 120 | ||||
自動Z軸行程(mm) | 2 | ||||
外形尺寸(mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
儀器重量(kg) | 130 | ||||
X、Y、Z軸分辨力(μm) | 0.5 | ||||
自動Z軸分辨力(μm) | 0.1 | ||||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm) | ||||
物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08% | ||||
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度鹵素燈 | ||||
底光照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | ||||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |||
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機 | |||
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |||
單層透明膜厚度測量模組 | |||||
高精度測量模式 | 快速測量模式 | ||||
厚度測量范圍 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm | |
測量軟件介紹：
(1) 測量元素種類齊全：直接測量12種元素（點、直線、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環(huán)、距離、角度、開云線,閉云線）。測量閉合云線的周長，面積及重心，使用三次插值算法，為目前準測量云線的方法。采樣點越多，越準確。
(2) *尋邊算法：確保尋邊準確無誤.亞像素尋邊，精度可達像素的1/10，專業(yè)的專家尋邊模式，或解決打了表面光之后，尋邊困難的問題，通過各種尋邊算法的設(shè)置，可解決各種各樣的尋邊難題，從而準確的抓取邊界。有自動去毛邊功能，對陰暗不明的邊界一樣可以準確的找出.
(3) 宏測量功能：宏測量功能就是，將一些測量，構(gòu)造命令關(guān)聯(lián)到一個按鈕上。點擊按鈕，即開始執(zhí)行宏測量功能，宏測量功能會自動完成構(gòu)造動作，減少用戶操作鼠標次數(shù)，提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能，用戶可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標。
(4) 強大的構(gòu)造功能：軟件提供向?qū)У臉?gòu)造功能，這是軟件的一大特色?？蛻粝胍裁唇Y(jié)果,直接點擊相關(guān)按鈕，就可以自動得到想要的結(jié)果.軟件提供了10種構(gòu)造法（【平移】、【旋轉(zhuǎn)】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對稱】、【相交】、【相切】）
(5) 的小R角測量算法：對于大半徑,小弧長的R角，一直是測量界的測量難題，我公司經(jīng)過大量的實驗及算法優(yōu)化，終于創(chuàng)造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問題.通過測量弧及弧相鄰的兩條切線，可解決這一難題.經(jīng)實踐,重復(fù)性可達0.01之內(nèi).
(6) 自動判別測量(自動識別線，圓，弧)：只要將鼠標放在工件的邊緣上，即可自動尋邊得到線，圓或者弧.
(7) 顯示結(jié)果豐富：對各種元素的測量結(jié)果顯示﹐其信息量大﹐能滿足各種客戶的需要。并可設(shè)置哪些內(nèi)容顯示,哪些內(nèi)容不顯示﹐也可以單個元素進行設(shè)置其顯示信息。也可對同類元素進行設(shè)置.
(8) 超差紅色警示：如果測量結(jié)果超差，會指示是哪項內(nèi)容超差，并將該項顯示成紅色，對應(yīng)的圖形也會變成紅色.
(9) 能顯示光學放大倍率和屏幕放大倍率：下圖中顯示了光學放大倍率與屏幕放大倍率，屏幕放大倍率是由軟件自動計算得到的，并能顯示一個像素相當于多少mm。
(10) 能建立多重工件坐標系：可根據(jù)圖紙建立多重工件座標系。實現(xiàn)各坐標系的座標變換；能方便地實現(xiàn)直角坐標系與極坐標系之間的相互轉(zhuǎn)換；能實現(xiàn)各工件坐標系的存儲和調(diào)用。建立座標系后，如果選擇了十字線旋轉(zhuǎn)功能，十字線會作旋轉(zhuǎn)，指示座標系的旋轉(zhuǎn)方向
(11) 建立用戶程序方便快捷：可以通過平移和旋轉(zhuǎn)建立的用戶程序。
(12) 編輯修改用戶程序,直觀方便：可以刪除，插入任一元素，包括座標系?？梢圆榭茨硞€元素的尋邊狀況，及改變尋邊測量的環(huán)境。如果有必要，可以重新測量一個元素，以改變它的測量方法及環(huán)境。
(13) 機器自動測量過程中可進行手動測量：如果客戶在測量某個，或某幾個元素時，希望手動測量它，而不希望機器自動去測，軟件可以輕松實現(xiàn)。軟件提供了斷點設(shè)置功能，可在要手動測量的元素地方，設(shè)置斷點，則機器運行到該處時，會自動停下來。
010-87681080
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