半導(dǎo)體硅晶片檢測顯微鏡
操作簡便,附件齊全,應(yīng)用于教學(xué)科研金相分析、半導(dǎo)體硅晶片檢測、地址礦物分析、精密工程測量等領(lǐng)域。
高精度粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)
采用底手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),左右側(cè)均可調(diào)節(jié),微調(diào)精度高,手動(dòng)調(diào)節(jié)簡單方便,用戶輕松得到清晰舒適的圖像。粗調(diào)行程為38mm,微調(diào)精度0.002。
大尺寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)
采用180×155mm的大尺寸平臺(tái),右手位設(shè)置,符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中,便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換,為用戶提供更加高效的工作環(huán)境
落射柯拉照明系統(tǒng)
采用180×155mm的大尺寸平臺(tái),右手位設(shè)置,符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中,便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換,為用戶提供更加高效的工作環(huán)境。
技術(shù)規(guī)格:
光學(xué)系統(tǒng) | 有限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) |
觀察筒 | 45°傾斜,三目觀察筒,瞳距調(diào)節(jié)范圍:54-75mm,分光比:80:20 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/18mm,可帶測微尺 |
高眼點(diǎn)大視野目鏡WF15X/13mm,可帶測微尺 | |
高眼點(diǎn)大視野目鏡WF20X/10mm,可帶測微尺 | |
物鏡 | 長工作距平場消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X 、100X) |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器 |
內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器 | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動(dòng)每轉(zhuǎn)行程38 mm;微調(diào)精度0.02mm |
載物臺(tái) | 三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),面積180mmX155mm,右手低手位控制,行程:75mm×40mm |
落射照明系統(tǒng) | 落射式柯拉照明系統(tǒng),帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場光欄,自適應(yīng)寬電壓100V-240V,單顆5W 暖色LED燈,光強(qiáng)連續(xù)可調(diào) |
落射式柯拉照明系統(tǒng),帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場光欄,自適應(yīng)寬電壓100V-240V,6V30W鹵素?zé)?,光?qiáng)連續(xù)可調(diào) | |
攝影攝像 | 0.5X/1X攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板;濾色片組;高精度測微尺 |